X射線熒光光譜儀原理：

　　由于X射線的能量較高，原子的內層電子吸收X射線的能量后會激發成為自由電子。然后，外層的電子會填補內層電子的空位，這就是電子遷躍，電子躍遷的同時會放射X射線熒光。電子躍遷的能量等于兩電子能級之間的能量差，因此，X射線熒光的能量或波長是具有特征性的，與元素有一一對應的關系。只要測出熒光X射線的波長，就可以知道元素的種類。此外，熒光X射線的強度與相應元素的含量有一定的關系，據此可以進行元素的定量分析。
 

　　X射線熒光光譜儀使用中的注意事項：

　　1、X射線熒光光譜儀 從根本上來說是一種相對測量儀器，因此在使用過程中，需要定期對儀器進行標定和校準。

　　2、被測量樣品的處理與測量精度的關系：

　　從X射線熒光分析理論上說，對被測量樣品進行必要的處理是必須的；一般來說，樣品處理的越好，則測量精度就會越高，測量結果越可靠。在實際使用過程中，我們應該盡量對被測量樣品進行必要的物理處理。

　　在測量不規則的樣品時，雖然從X射線熒光分析方法上可以對測量進行技術上的校正，從而滿足實際測量的需要；但這樣做所付出的代價是犧牲測量精度和測量數據的可靠性。

　　3、為保證有害元素含量的控制效果，X射線熒光光譜儀 的測量數據應與其他的測量手段結合起來使用；X射線熒光光譜儀 更適合生產過程的監控，甚至可以說：在生產過程中對有害元素含量的監控，X射線熒光分析方法是目前可行的分析手段；而有害元素含量的終裁定，則不應該僅僅依靠單一的測量手段。